東冠農產行

臺江田園交響曲

江金榮 | 臺南市 | 場域: 學校 | 70965臺南市安南區長和路2段74號

旋轉蝕刻機用之化學液回收再生裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 江源遠, 董福慶, 王家康, P. Mahneke | 證書號碼: 6712926

基督教會堂

1 | 開放時間: 依教會活動時間 | 現狀: 1.建築本體結構大致良好。 2.後側屋瓦鬆脫。 3.牧師樓為民國95年（2006）新建建築物。 | 歷史沿革: 基督教會堂建於民國13年（1924），牧師樓建於民國24年（1934）。民國11年（1922）歐陽侯牧師因舊教堂不敷使用，發動興建新教堂，購買清代舊縣丞署原址的部分土地，興建會所及附設培德小學和幼稚園...

真空加熱氣浮傳輸技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 工件尺寸: 620*750 mm (I.e. 第3.5代LCD面板尺寸) | 潛力預估: 基板尺寸放大至1100×1250mm (I.E. 第5代LCD面板尺寸), 等相關技術應用

大面積電漿光阻剝離技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院先進製造與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 基板尺寸: 620*750 mm (第3.5代LCD面板尺寸), 光阻去除速率>3μm, 製程溫度：300℃或低於 | 潛力預估: 基板尺寸放大至1100×1250mm (第5代LCD面板尺寸), 高速大面積電漿蝕刻、灰化等相關技術應用

電漿鍍膜應用技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 95 | 產出單位: | 計畫名稱: 機械與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 抗反射氮化矽膜；鍍率：20-45nm/min.；均勻度：±5%。 | 潛力預估: 太陽電池生產關鍵設備技術；可轉應用於微晶矽薄膜沉積。

高密度電漿製程設備技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 96 | 產出單位: | 計畫名稱: 機械與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 抗反射氮化矽膜；鍍率：20-45nm/min.；均勻度：±5%/100mm×100mm | 潛力預估: 太陽電池抗反射層生產關鍵設備技術；可轉應用於非晶與微晶矽薄膜沉積。

高密度電漿製程設備技術

執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 97 | 產出單位: | 計畫名稱: 機械與系統領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 抗反射層氮化矽膜、中空陰極遠距式電漿源，電漿源有效長度≧500 mm、鍍膜速率20-52 nm/min、成膜均勻度≦10%/125mm×125mm | 潛力預估: 太陽電池抗反射層生產關鍵設備技術；可轉應用於非晶與微晶矽薄膜太陽電池沉積；FPD非晶矽沉積。