Mass Flow Controller技術教學 -FGT 第一通用科技-

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Mass Flow Controller技術教學 -FGT 第一通用科技- 主選單內容 会员专区English繁體中文 讯息总览 FGT 讯息 产业讯息 教育训练课程 FGT-在线技术月刊 Home 最新消息 观看最新消息 发布日期: 2010-09-24 23:28:08 讯息分类: FGT 讯息 标题: Mass Flow Controller技術教學 Mass Flow Controller技術教學 資料整理:FGT-工程部 Mass Flow Controller量測介紹 質流控制器(Mass Flow Con-troller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制閥組的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般測量體積流速的方法,所以能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,非常適合用在動態的氣體流量控制上。對於未來,可預期地半導體工業製程的趨勢中,對於沉積及蝕刻製要求的研究,明顯地,產業界需要更佳的數位化氣體控制執行能力(Digital Mass Flow Controller)以及其它的關鍵技術。 一、流量之量測與控制   在半導體工業的製程設備裡,幾乎在所有的設備裡也都需要各程度不等的氣體來維持機器的操作與製程的進行﹔所以在流體的控制方面,不只是某些製程的重要參數之一,更是機器設備是否能正常運作有著密切的關係。而控制流體最直接且最方便的方法就是測量它的流... [ 原網頁 ]

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